從自來水到去離子水一般要經(jīng)過幾步處理 ：

1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質(zhì)

2、然后高壓通過反滲透膜

3、然后還要經(jīng)過一步紫外燈可以去除水中的微生物

4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程，此時電阻率可達到18兆。

相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業(yè)中用的大多數(shù)是高純度的去離子水。

去離子水的特點：

1、離子交換樹脂制取去離子水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：

原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床→后置保安過濾器→用水點。

（特點：污染比較大，自動化程度低，初期投入低）

2、反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制取去離子水的方式，其基本工藝流程為：

原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→混床→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

（特點：污染小，自動化程度高，初期投入中等，價格適中）

3、反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制取去離子水的的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋?/span>

原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點。

（特點：環(huán)保，自動化程度高，初期投入大，價格相對比較貴）